XRD-OEM在线X射线衍射仪

XRD-OEM的特点▼

• 可以集成任何自动化或处理系统且适用于极端环境(研磨、锯切)

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• 紧凑、标准的工业接口

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• 单独的定位测量，可测量平面或圆周

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• 光学等级检测

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• 解决了行业难题:

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1. 如果加工设备和定向测量是分开的，那么就会因为样品转移而造成定向误差

2. 市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大

• 将测量过程整合到工业生产中（研磨或锯切）

XRD-OEM适配普遍的打磨设备▼

无需移动样本即可进行定向，可与打磨产线相结合直接进行在线检测

应用实例▼

• 硅锭取向
• 磨削前对平面和缺口位置的检测
• 样品直径可达8 "，长度可达40厘米

技术参数▼

• 可测量材料：硅，碳化硅，砷化镓及更多
• 样品尺寸：钢锭直径450毫米
• 冷却：空气，低噪音
• 可能的用途：在锯/磨/平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准