SDCOM 台式X射线单晶定向仪

能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品

各种样品架及输送夹具，用于线锯、抛光等

侧晶方向标记选项

无水冷却

**精度：0.01°(视晶体质量而定)

确定单晶的完全晶格取向

使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

气冷式X射线管，无需水冷

适合于研究和生产质量控制

手动操作(没有自动化选项)

平面方向的标记和测量

• Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。
• 在晶圆片的注入和光刻过程中，平面或凹槽作为定位标记。经过加工后，晶圆片携带数百个芯片，需要通过切割将其分离。
• 晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平台或缺口的位置是必要的。为了确定平面或缺口的位置，必须测量平面内的部件。
• 该仪器通过旋转转盘，可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。这简化了将标记应用到特定平面方向的任务，例如必须定义平面方向时。
• 对于高吞吐量应用程序，可提供自动测量解决方案。

                                               晶体的方向是由反射位置决定

                                                      适合多种材料